Gaz corrosifs

> HF | SO2 | NH3 | HBr | Cl2 | HCl | SiH2Cl2 | BCl3 | SiF4 | BF3 | F2 | NO | NO2

Ces gaz ont une aptitude à attaquer chimiquement beaucoup de produits : métaux, matières, synthétiques…

Souvent non corrosifs quand ils sont secs et à température ambiante, une présence très faible d’humidité (air) (quelques ppm) les rend extrêmement corrosifs. Ils sont également toxiques.

Afin de garantir la durée de vie des matériels de mise en œuvre et de préserver la sécurité de l’environnement (fuites éventuelles), toute installation de gaz corrosifs doit respecter impérativement deux conditions

I. Elle doit être exempte de toute trace d’humidité (teneur en eau < 5 ppm) : ce qui implique des opérations de purges avant mise en service ainsi qu’avant et après chaque changement de bouteille.

II. Elle doit être parfaitement étanche (1 à 3 x 10-9 mbar.l/s d’hélium) ce qui implique une conception très soignée des installations..

Choix des matériels (vannes, détendeurs)


> Utiliser des matériels munis de membranes ou d’un soufflet en acier inoxydable, il faut prévoir d’évacuer les gaz vers l’extérieur ou au mieux vers un système de neutralisation approprié et canalisable ou le raccordement des cloches de détendeur à des réseaux de purge.

Choix des matériaux

> N’utiliser que des matériaux compatibles avec les gaz concernés. Choisir des nuances d’acier adéquates, de type 316 L par exemple, qui facilite les soudures et réduit les risques de dépôts carbonés.

Armoires ventilées

> Nous recommandons de placer bouteilles et tableau de distribution dans des armoires ventilées chaque fois que la VME est inférieure à 5 ppm, nous recommandons l’utilisation d’une hotte d’aspiration.

Soudures


> Les gaz corrosifs peuvent attaquer les soudures ou les zones ayant subi une chauffe importante (corrosions fissurantes). C’est pourquoi les soudures doivent être réalisées avec un soin extrême.

Raccords démontables

> Les raccords métalliques à joint plat sont à préconiser (type VCR par exemple).

Etuvage


> L'intérêt du balayage en température par un gaz inerte d’une installation, lors de la mise en service ou au redémarrage est démontré : le temps de purge est réduit et l’efficacité est augmentée.

Purge | Utilisation d'un système de purge (ex : té de purge)

Téléchargez le guide pour purger un détendeur.

> Gaz de purge: Argon, azote et mélanges – hélium, argon – hélium très secs (teneur en eau < 2 ppm).
> Techniques de purge : Par dilution ou par cycles de compression – détente. (Voir document ci-dessus).